생산제품
| CARRIERS | AR, H2, N2, O2, HE |
|---|---|
| SILICON SOURCE | SIH4, SIH2CL2, SIHCL3, SICL4 |
| DOPANT | ASH3, B2H6, PH3 |
| ETCHANT | CF4, C2F6, CHF3, HF, SF6, BCL3 |
| REACTANT | NH3, N20, HCL, WF6, HBR |
공급품질
제품 및 고객요구시방법 99.99%에서 99.9999%까지의 제품을 생산중이며 향후 차세대 첨단반도체 제조를 위한 초고순도(6N이상) 가스를 개발중에 있습니다.
용기(실린더): 500g에서 16kg까지의 다양한 규격 및 재질의 실린더를 CLASS 100의 청정실에서 보수, 유지합니다.
통계적 수법에 의한 공급전산 관리체계인 LIMS(LABORATORY IMFORMATION MANAGEMENT SYSTEM)에 의해 실린더의 충전, 관리, 분석 및 고객처 수급상황 등이 종합관리 됩니다.
공급체계
BULK SILANE 공급 : 컨테이너형 대용량(1톤이상) 용기로 공급하여 가격, 안전 및 관리순도 안정화면에서 큰 장점이 있으며 고객공급 및 관리 경험을 보유하고 있습니다.
불소계가스 회수장치 : C2F6, CF4, CHF3, NF3 및 SF6를 일괄회수 및 재분리, 충전, 공급함으로써 환경 및 가스수급 문제를 일거에 해결할 수 있습니다.
공급시스템
PRAXAIR의 축적된 기술로 개발된 최첨단 모델의 특수가스공급 및 관리설비를 경쟁력있게 공급해 드릴 수 있습니다.
GAS PURITY MEASUREMENT SYSTEM
GAS CABINETS
VALVE MANIFOLD BOXES